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■ 용도(Applications)
* High Quality with Highly Transparent Coatings ………………
* ITO coated polished glass plates are high quality, low defect, and transparent, conductive Indium-Tin-Oxide coated plates with superior physical properties.
* High transmission (75-85%)
* Low defect densities
* Low ohmic values
* Highly transparent, conductive coating
* LCD and OLED applications
■특 징 (Features )
1. Glass wafer Spec 확정시 고려해야할 사항 *. Glass 종류 : Sodalime Glass , Corning1737( Egle200 Display용 Glass ), Corning7740 (Pyrex,Borofloat33 Bonding용 또는 MEMS용 Glass) ,Tempax Glass *. Size : 2” , 3” , 4” , 5” , 6” , 8” Dicing공정 추가로 원하시는 Square type도 가능 * Egle2000에서 370mm * 470mm , 370mm*400mm등 다양 *. Thickness : 0.5T ( Corning 7740에서 가장 일반적 두께) , 0.63T ( Sodalime , Display용에서 가장 일반적 두께 ) , 2.3T 등 원하시는 두께 다양 *. Surface Finished : Single Side Polished, Double Side Polished *. Flat : 1flat 또는 Round로 고객 요구에 맞춰 *. Grade : UV Grade 2 . Glass 를 이용하여 가능한 공정 * Metal Deposition by Sputtering or Evaporation * SiO2 or Si3N4 by PECVD (LPCVD는 불가) * Dicing을 이용한 원하시는 사이즈로 Cutting 가능 * CMP를 이용한 원하시는 두께 조절 가능=> TTV최소 2um로 제작 가능 * Sending * Patterning Process * Hole Process * Si 위에 Bonding Process * Patterning Process * PR Coating by Spin Coater (AZ1512, AZ1518 , DNR , AZ5214 등) 3. 각 Glass Data 보기 Sodalime , Corning1737 ( egle2000 ) , Corning7740 (Pyrex, Borofloat33)
■ 규격(Specifications)
List of ITO coated Glass Plates available
Substrate
Size
Sheet Resistance
Remarks
Corning 1737
* (Alkaline Earth Boro-Aluminosilicate)
14” x 14” x 0.043”
7-10 ohm/sq
ITO coating thickness 1500-2000Aº
Corning 1737
* (Alkaline Earth Boro-Aluminosilicate)
14” x 14” x 0.043”
9-15 ohm/sq
ITO coating thickness 1200-1600Aº
Corning 1737
* (Alkaline Earth Boro-Aluminosilicate)
14” x 14” x 0.043”
12-20 ohm/sq
ITO coating thickness 800-1200Aº
Soda Lime Float Glass
Polished one surface (coating side)
14” x 14” x 0.043”
~15 ohm/sq
~200Aº SiO2 coating barrier layer under ITO
ITO coating thickness 1200-1600Aº
* Flatness of Corning 1737 Plates: 3.5μ over 25mm max (optical flat)
Property
Specific Gravity
2.53
-
Modulus of Elasticity (Young's)
7.2x1010 Pa
(10.4x106 psi)
Modulus of Rigidity (Shear)
3.0x1010 Pa
(4.3 x 106 psi)
Bulk Modulus
4.3x1010 Pa
(6.18 x 106 psi)
Poisson's Ration
0.23
-
Density
2530 kg/m3 (2.47 g/cc)
(158 ib/ft3)
Coefficient of Thermal Stress
0.62 mPa/° C
(50 psi/° F )
Thermal Conductivity
0.937 W.m/m2 ° C
(6.5 btu.in/hr° F.ft2)
Specific Heat
0.21
-
Coefficient of Linear Expansion
8.9 x 10-6 strain/° C
(4.9 X 10-6 strain/° F)
Hardness (Moh's Scale)
5 to 6
-
Refractive Index (Sodium D line)
1.523
-
(1um)
1.511
-
(2um)
1.499
-
Softening Point
1340 ° F (726° C)
-
Annealing Point
1015 ° F (546° C)
-
Strain Point
957 ° F (473 ° C)
-
Emissivity at 75 ° F
0.84
-
Loss Tangent %
0.900
-
Volume Resistivity ohm.cm 250° C
6.40
-
* Handling, Cleaning, and Storage Guidelines:
Glass Name
Working Temp
Max Temp
Thermalshock Resistmc
Normal Sodalime
220
250
170
Pyrex
430
490
304
Properties
Mechanical
Metric
English
Density(20℃,68℉)
2.54g/cm3
158.6lb/ft3
Young's Modulus
7.14*103kg/mm2
10.15*106psi
Poisson's Ratio
0.22
0.22
Shear Modulus
2.88*103kg/mm2
4.1*106psi
Viscosity
WorkingPoint(104poises)
1312℃
2394℉
SofteningPoint(107.6 poises)
975℃
1787℉
Annealing Point(1013poises)
721℃
1330℉
Strain Point (1014.5 poises)
666℃
1231℉
Thermal Expansion
Expansion
37.6*10-7/℃
21*10-7/℉
Room Temperature to setting Point
42.0*10-7/℃
23.3*10-7/℉
Optical
Birefringence Constant
333nm/cm kg/mm2
-
Electrical
Log10 Volume Resistivity
(250℃,428℉)-13.5
(350℃.662℉)-11.4
-
(500℃,932℉)-9.3
-
Refractive Index
Wavelength (nm)
435.8
480
486.1
546.1
589.3
643.8
656.3
Index of Refraction
1.529
1.525
1.5244
1.5207
1.5186
1.5166
1.516
egle2000 material information
물리적 성질
Density(ρ)
@25°C
2.22 g/cm3
Young's Modulus (E)
@25°C
63 GPa
Knoop Hardness (HK 0.1/2.0)
per ISO 9385
480
Poisson's Ratio (μ)
-
0.20
Bending Strength
per DIN 52292
25 N/mm2
전기적 성질
Dielectric Constant (κ)
1 Mhz @ 25°C
4.6
Dielectric Loss Factor (tan δ)
1 Mhz @ 25°C
37 x 10-4
Dieletric Strength (κ′)
23°C
16kV/mm
149°C
7kV/mm
160°C
1.8kV/mm
Volume Resistivity (log ρ)
250°C
8.0
350°C
6.5
화학적 성질
Common Reactants
Weight Loss mg/cm2
0.02 n NaOH, 6 hr @ 95° C
0.16
0.02 n H2SO4, 24 hr @ 95° C
< 0.01
H2O, 24 hr @ 95° C
< 0.01
5% NaOH, 6 hr @ 95° C
1.1
5% HCl, 24 hr @ 95° C
< 0.01
0.02 Na2CO3, 6 hr @ 95° C
0.16
10% HF, 20 min @ 23° C
1.1
10% NH4F*HF, 20 min @ 23° C
0.14
Glass Name
Working Temp
Max Temp
Thermalshock Resistmc
Normal Sodalime
220
250
170
Pyrex
430
490
304
Chemical Composition of Borofloat 33 and Pyrex (Corning7740)
SiO2
B2O3
Na2O3
K2O
Al2O3
Borofloat33
80
13
3.5
1
2.5
Pyrex
81
13
4
-
2
Physical Properties of Borofloat 33 and Pyrex (Corning7740)
Properties
Borofloat33
Pyrex
Density(g/cm3)
2.2
2.2
Transformation Temperature in ° C
525
528
Strain Point T (log h=14.5)
619
-
Softening Point T (log h=7.8)
820
-
Working Point T (log h=4.0)
1270
1270
Maximum Use Temperature in ° C
Short term/Long Term
500/450
290/260
Transform Temperature in ° C
630
-
Linear thermal expansion Coefficient α in ° C
3.25 X 10E-8
3.25 X 10E-8
* Handling: Clean lint free gloves should be worn, and plates should be held by the edges only. * Direct static or sliding contact between plates must be avoided.
* Cleaning: Washing with a mild detergent followed by sufficient rinsing in DI-water is recommended.
* Water flow in one direction and the movement of glass in the opposite direction is suggested. * Other methods may be used depending upon the application. Use hot air for drying.
* Storage: Recommending temperature of 5-25ºC with humidity less than 60%.
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